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自动晶圆贴膜机

发布时间:2023-04-24人气:37

自动晶圆贴膜机特点:

1. 人工放置wafer和框架;

2.自动贴膜,

3.自动圆周刀割膜,

4.废膜自动回收。

规格:

晶圆尺寸 :             3 4 5 6 8’12’

晶圆规格 :             各种形状晶圆

晶圆承载方式 :      接触式真空吸附承载

蓝膜最大宽度 :      265mm  ~  400mm

产量:                   90 pcs./hr.

机器尺寸 :        1.m () x 0.65m () x 1.8m ()

机器重量 :             200kg

控制单元:              Panasonic  PLC

电压:               220 VAC 50/60 Hz, 5A.

气压:                 5kgf/cm^2 dry air


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