产品说明:
晶圆倒膜机适合用于晶圆出货倒膜使用,晶圆倒膜无气泡。
规格 Specification
型号 AV-DWM106 AV-DWM108 AV-DWM112
晶圆尺寸(最大) 150mm 200mm 300mm
胶膜宽度(最大) 230mm 300mm 410mm
尺寸WxDxH(mm) 430x650x380 450x900x380 510x1150x450
重 量 40KG 45KG 60KG
标准配置: 镀PFA真空工作盘,加热工作盘
选用配置: ESD装置、